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HL: Halbleiterphysik

HL 22: Poster II

HL 22.81: Poster

Tuesday, March 18, 1997, 15:30–18:30, Z

Optische Bestimmung von Temperaturprofilen in Halbleitern — •B. Kukuk, S. Zuccaro, F.J. Niedernostheide und H.-G. Purwins — Institut für Angewandte Physik, Westfälische Wilhelms-Universität Münster

Die Temperaturabhängigkeit des Brechungsindex von Halbleitern macht die Bestimmung der Temperaturverteilung durch optische Methoden möglich. Dazu wird der Brechungsindexgradient durch die Ablenkung eines Laserstrahls gemessen. Es zeigt sich, daß damit auch kleine Gradienten gut erfaßt werden können. Wir benutzen diese Methode, um über die Temperaturverteilung in einer speziellen Halbleiterprobe Rückschlüsse zu ziehen. Die Proben zeigen lokalisierte Stromdichtefilamente, die zu einer entsprechenden lokalen Temperaturerhöhung in der Probe führen. Die Vor- und Nachteile dieses Verfahrens werden mit anderen Methoden (Thermokamera, Oberflächentemperaturmessung) verglichen.