Münster 1997 – wissenschaftliches Programm
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HL: Halbleiterphysik
HL 4: Diamant
HL 4.6: Vortrag
Montag, 17. März 1997, 11:45–12:00, H3
Photoleitungsspektroskopie an Diamant CVD-Schichten und Typ II b Einkristallen — •M. May, M. Hollering, J. Ristein und L. Ley — Institut für Technische Physik, Universität Erlangen-Nürnberg, Erwin-Rommel-Straße 1, 91058 Erlangen
Das Photoleitungsspektrum von Diamantproben wurde im Spektralbereich von 1.5 bis 6.2 eV gemessen. Als Proben wurden dabei sowohl heteroepitaktisch gewachsene CVD-Schichten, die naßchemisch von ihrem Si Substrat befreit worden waren, als auch Diamant Einkristalle untersucht. Durch unterschiedliche chemische Behandlung wurden die Oberflächen der Proben außerdem gezielt mit Wasserstoff oder Sauerstoff abgesättigt. Photo- und Dunkelleitfähigkeit unterscheiden sich danach dramatisch je nach Oberflächenbehandlung. Wasserstoffabgesättigte Proben zeigen eine um 3 bis 5 Größenordnugen höhere Dunkelleitfähigkeit als sauerstoffabgesättigte und auch eine deutlich größere Photoleitfähigkeit bei Anregung unterhalb der Bandkante. Beide Größen sind empfindlich auf die Adsorption von Gasen und sie können durch chemische Oxidation der Oberfläche auf unter 10−11 (Ω cm)−1 reduziert werden. In diesem Zustand werden verschiedene Photoleitungsschwellen im bandkantennahen Bereich beobachtet. Die Ergebnisse werden im Hinblick auf Oberflächen- und Volumenbeiträge diskutiert.