Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 7: Störstellen II

HL 7.3: Vortrag

Montag, 17. März 1997, 16:00–16:15, H1

Elektrische Eigenschaften von Palladium-Wasserstoff-Komplexen in Silizium — •Jens-Uwe Sachse und Jörg Weber — Max-Planck-Institut für Festkörperforschung, Heisenbergstr. 1, D-70569 Stuttgart

Wir untersuchen mittels Deep Level Transient Spectroscopy (DLTS) und Kapazitäts-Spannungs-Messungen die elektrischen Eigenschaften von Palladium in Silizium. Palladium wird substitutionell in den Siliziumkristall eingebaut und besitzt sowohl Donator- als auch Akzeptorniveaus. Nach naßchemischem Ätzen beobachten wir sowohl in n- als auch in p-Typ Silizium das Auftreten weiterer tiefer Störstellenniveaus, die wir Palladium-Wasserstoff-Komplexen zuordnen. Tiefenprofilanalysen zeigen, daß die Bildung dieser Komplexe mit einer Konzentrationsabnahme der elektrisch aktiven Störstellen des substitutionellen Palladiums korreliert ist. Thermische Ausheilstudien deuten darauf hin, daß bei Temperaturen oberhalb 400 K eine Transformation verschiedener Palladium-Wasserstoff-Komplexe stattfindet. Wir diskutieren Zusammenhänge zwischen den wasserstoffkorrelierten Zentren in Palladium dotiertem n- und p-Typ Silizium und vergleichen diese mit bekannten Übergangsmetall-Wasserstoff-Komplexen von Gold bzw. Platin in Silizium.