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HL: Halbleiterphysik

HL XIV: HV XIV

HL XIV.1: Hauptvortrag

Freitag, 21. März 1997, 10:15–11:00, H1

Makroporen in Silizium: Physik und Anwendungen — •V. Lehmann — ZFE TME 1, Siemens AG, 81730 München

Durch elektrochemisches Ätzen von <100> n-type Silizium in Flußsäure werden Makroporen rechtwinklig zur Oberfläche mit Aspektverhältnissen über 100 generiert. Wird die Siliziumoberfläche mittels einer Phototechnik und alkalischem Ätzen vorstrukturiert, können Makroporenarrays beliebiger Geometrie erzeugt werden. Anwendung findet dieses neue Material bei der Herstellung von Siliziumkondensatoren und photonischen Kristallen.