Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

M: Metallphysik

M 11: Diffusion

M 11.7: Vortrag

Dienstag, 18. März 1997, 17:30–17:50, S 9

Kurzzeit-Diffusion von Gold in Si–Ge-Schichten — •R. Fischer¹, P. Scharwaechter¹, K. Lyutovich², W. Frank¹ und ISOLDE-Kollaboration³ — ¹MPI f. Metallf., Stuttgart, und Inst. f. Theor. u. Angew. Phys. der Univ. Stuttgart — ²MPI f. Festkörperf., Stuttgart — ³CERN, Genf

Mit Hilfe der Radiotracer-Methode wurde die Diffusion von implantiertem ¹⁹⁵Au in epitaktisch aus der Gasphase hergestellten Si_1−yGe_y-Schichten untersucht (y= 0; 0,012; 0,024; 0,035; 0,068; 0,232; 1). Nach Kurzzeittemperungen (≥10 s) bei verschiedenen Temperaturen wurden die Diffusionsprofile mittels Ionenstrahlzerstäubung bestimmt. Es zeigt sich, daß das Diffusionsverhalten von Gold, insbesondere die Gestalt der Diffusionsprofile, stark von der Zusammensetzung der Si–Ge-Legierungen abhängt. Erklärungsmöglichkeiten hierfür werden diskutiert.