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M: Metallphysik

M 13: Texturen I

M 13.6: Vortrag

Dienstag, 18. März 1997, 18:50–19:10, S 6

Anwendung der quantitativen Texturanalyse f"ur die Charakterisierung und Optimierung von Schichten — •I. Handreg and P. Klimanek — Institut f"ur Metallkunde, TU Bergakademie Freiberg, D-09596 Freiberg

Am Beispiel galvanischer Kupferschichten wird diskutiert, welche As- pekte sich aus den Ergebnissen der quantitativen r"ontgenografischen Texturanalyse f"ur die Aufkl"arung von Wachstumsvorg"angen und die Prognose des Beanspruchungsverhaltens ergeben. Die Kenntnis der Textur erm"oglicht einerseits die Ermittlung von epitaktischen Orientierungsbeziehungen in vielkristallinen Schicht-Substrat-Verbunden. Andererseits k"onnen "uber die Detektion von Textur"anderungen Entfestigungsprozesse charakterisiert werden. Insbesondere f"ur d"unne Schichten ist die Bestimmung von Rekristallisationskurven aus r"ontgenografischen Integralintensit"aten essentiell. Abschlie"send soll anhand von berechneten anisotropen Eigenschaften und FEM-Simulationen f"ur einen praxisnahen Beanspruchungsfall der Einflu"s der Textur auf das Schichtverhalten verdeutlicht werden.