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M: Metallphysik

M 14: Texturen II

M 14.3: Vortrag

Mittwoch, 19. März 1997, 15:10–15:30, S 6

Anwendung eines Elektrolumineszenzdetektors zur Texturanalyse mit Spektralentflechtung — •S. Sack, H. Klein und H.J. Bunge — Institut für Metallkunde und Metallphysik, Technische Universität Clausthal, Großer Bruch 23, D-38678 Clausthal–Zellerfeld

Röntgenstrukturuntersuchungen an dünnen Schichten oder fluoreszierenden Proben können bisweilen mit monoenergetischen Polfigurmessungen nicht oder nur sehr schwer durchgeführt werden. Fluoreszenzeffekte und Laue-Reflexe können jedoch unterdrückt werden, wenn man eine energiedispersive Meßmethode verwendet. Dazu empfiehlt sich ein Elektrolumineszenzdetektor, der ein genügend hohes energetisches Auflösungsvermögen besitzt. Bei einer Polfigurmessung wird zu jedem Polfigurmeßpunkt dann ein komplettes Energiespektrum aufgezeichnet. Wegen der Großen Zahl von Polfigurmeßpunkten ist ein mathematischer Entflechtungsalgorithmus auf Rechnerbasis entwickelt worden. Dieser gestattet es die informationstragenden Energiebereiche der Spektren von den ”Störungen” zu befreien, die die eigentlich interessierende Meßintensität bisweilen überlagern. Neben der einfachen Eliminierung von unerwünschten Peaks im Energiespektrum, kann die zusätzliche Information, die die Energiebereiche tragen, die nicht zur Polfigurerstellung benötigt werden, dazu verwandt werden weitere Informationen über die Probe zu gewinnen. Der Weg von der Messung bis zur Ausgabe der ”gesäuberten” Polfigur soll anhand von unterschiedlichen Probenmaterialien erläutert werden.