Münster 1997 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 15: Raster-Kraft-Mikroskopie II

O 15.7: Talk

Tuesday, March 18, 1997, 11:00–11:15, BOT

Scanning Electrical Force Microscopy und deren Anwendung — •F. Müller, A.-D. Müller und M. Hietschold — Institute of Physics, TU Chemnitz-Zwickau, 09017 Chemnitz

Es wird die Weiterentwicklung eines Verfahrens der Raster-Kraft-Mikroskopie vorgestellt, mit der Oberflächenpotentiale und Kapazitäten zwischen Spitze und Probe simultan zur Topographie detektiert werden können. Anhand von Simulationen der Spitze-Probe-Kapazität wird gezeigt, inwieweit das Verfahren zur Kontrastierung von Materialunterschieden geeignet ist. Die jeweiligen Rechnungen werden mit Meßergebnissen entsprechender Proben-Systeme korreliert. Zu den vorgestellten Proben gehören Aluminiumelektroden auf Glas, Goldfilme auf Silizium und verschiedene Strukturen auf und Dorierungsprofile in Silizium.