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O: Oberflächenphysik
O 22: POSTER II
O 22.36: Poster
Mittwoch, 19. März 1997, 14:15–15:45, AULA
Die elektrochemische Auflösung von Kupfer - eine AFM-Studie — •Th. Hülsmann2, N. Breuer1, H. Meyer1 und H. Zimmermann3 — 1Atotech Deutschland GmbH, 10553 Berlin — 2Atotech Deutschland GmbH, 10553Berlin — 3Atotech Deutschland GmbH, Humboldt-Universität zu Berlin, 10115 Berlin
Die Abscheidung und Auflösung von Metallen läßt sich elektrochemisch durch die Einstellung des Oberflächenpotenials kontrollieren. Die Oberflächenstruktur hängt wesentlich vom verwendeten Potential, der Elektrolyttemperatur und der Elektrolytzusammensetzung ab. In der Vergangenheit wurde für die Kupferabscheidung diese Abhängigkeit durch STM- und AFM-Messungen mehrfach untersucht. In den vorgestellten AFM-Messungen wird nun für die Kupferauflösung die Abhängigkeit der Oberflächenstruktur von den oben genannten Parametern dokumentiert. Hierfür wurden polykristalline Kupferoberflächen in verschiedenen Elektrolyten, bei unterschiedlichen Temperaturen und Potentialen, für mehrere Zeiten aufgelöst. Es zeigt sich, daß in dem gewählten Parameterbereich die Temperatur und das Potential die Geschwindigkeit der Auflösung, aber nicht den Auflösungsmechanismus verändert. Es zeigt sich außerdem, daß die Oberflächenstruktur sehr stark von der Elektrolytzusanmmensetzung abhängt.