Münster 1997 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 22: POSTER II

O 22.48: Poster

Wednesday, March 19, 1997, 14:15–15:45, AULA

Winkelaufgelöste Spektroskopie rückgestreuter Elektronen mit einem sphärischen Gegenfeld-Spektrometer in einem Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop — •B. Schindler, L. Reimer und H. Kohl — Physikalisches Institut der Universität Münster, Wilhelm-Klemm-Str. 10, D-48149 Münster

Zur quantitativen Analyse und Interpretation rasterelektronenmikroskopischer Bilder ist ein genaues Verständnis der Wechselwirkung der Strahlelektronen mit dem zu untersuchenden Objekt notwendig. Speziell für den in den letzten Jahren besonders interessant gewordenen Niederenergie-Bereich von 0.5–5 keV gibt es noch Lücken in der Interpretation. Die Unterschiede zum konventionellen Bereich von 5–50 keV sind in dem geänderten Streuverhalten der langsameren Elektronen begründet. Um einerseits Aussagen über die abweichende Wechselwirkung, andererseits auch Meßdaten für den Bau spezieller Rückstreuelektronendetektoren zu erhalten, wurde von uns ein „segmentiertes“ sphärisches Gegenfeld-Spektrometer konstruiert. Mittels dieses Analysators ist es möglich, Energiespektren rückgestreuter Elektronen separat in rotationssymmetrischen Austrittswinkelbereichen in 10^∘-Schritten aufzunehmen. Es wird über die ersten Messungen und Vergleiche mit Monte Carlo Simulationen an massiven Reinelementproben berichtet.