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O: Oberflächenphysik

O 22: POSTER II

O 22.54: Poster

Mittwoch, 19. März 1997, 14:15–15:45, AULA

SPA-RHEED - Eine neue Methode der hochenergetischen reflektierenden Elektronenbeugung mit besonders hoher Winkel- und Energieauflösung — •H. Frischat¹, M.I. Larsson¹, B. Müller² und M. Henzler¹ — ¹Institut für Festkörperphysik, Universität Hannover, Appelstr.2, D-30167 Hannover — ²Institut de Physique Experimentale, EPF Lausanne, CH-1015 Lausanne, Switzerland

Ein neues Instrument für die Reflexprofilanalyse der Beugungsmuster von hochenergetischen Elektronen (SPA-RHEED) wurde entwickelt. Das System arbeitet entweder im konventionellen Modus mit einem Fluoreszenzschirm oder im neuen hochauflösenden Modus mit einem Channeltron für die Registrierung des Beugungsbildes. Durch den Einbau einer gegenüber dem Prototyp verbesserten Elektronenkanone mit einem Strahldurchmesser von 45 µm besitzt das Instrument nun eine Transferweite von 5 µm bei kleinem Strahlstrom und einer Energieauflösung von 3 eV. Außerdem wurde dem System ein Oktupol für die elektrische Variation des Einfallswinkels und der Position des Strahles auf der Probe zugefügt. Damit ist u. a. eine automatische Transformation von der RHEED- in die LEED-Geometrie möglich. Das Gerät wird für die Beobachtungen von Stufenfluktuationen auf Si-Vicinalflächen eingesetzt, um sie mit MC-Simulationen zu vergleichen.