Münster 1997 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 24: Homo-/Hetero-Epitaxie auf Si
O 24.11: Vortrag
Mittwoch, 19. März 1997, 18:30–18:45, S 1
Untersuchungen zur Adsorption und Dissoziation von Fe(CO)5 auf Si(111) mit zeitaufgelöster HREELS — •P.-R. Steiner und H. Froitzheim — Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, Universität Erlangen-Nürnberg, Egerlandstr. 3, D-91058 Erlangen
Zur Aufklärung der Kinetik von MOCVD-Prozessen wurde die Adsorption und thermische Dissoziation von Fe(CO)5 auf Si(111) mit zeitabhängiger HREELS untersucht. Um HREELS-Messungen unter Adsorptionsbedingungen überhaupt zu ermöglichen, erfolgte die Dosierung des Eisenpentacarbonyls dabei über einen Hochdruckdüsenstrahl. Die während der Adsorption bei T=120 K gemessenen Verlustspektren belegen zweifelsfrei die Existenz assoziativ adsorbierter Fe(CO)x-Moleküle auf der Siliziumoberfläche. CO selbst adsorbiert nicht auf Si(111), wie separate Untersuchungen gezeigt haben. Neben einer intensiven Struktur im Streckschwingungsbereich um 252 meV werden weitere intensive Signale im Bereich der Metallschwingungen detektiert, die bei dieser Temperatur zeitlich stabil sind.
Der Verlauf der Verlustintensitäten als Funktion der Verlustenergie und der Probentemperatur im Bereich ℏω=0… 400 meV, T=120… 870 K zeigt Veränderungen der Adsorptionszustände, die im Überblick vorgestellt und unter den Aspekten Dissoziation und Desorption diskutiert werden.