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O: Oberflächenphysik

O 32: Isolatoroberflächen

O 32.7: Vortrag

Donnerstag, 20. März 1997, 12:45–13:00, PC 4

NICASS - Eine neue Methode zur Oberflächenstrukturbestimmung von Isolatoren — •Andreas Losch und Horst Niehus — Institut für Physik, Oberflächenphysik und Atomstoßprozesse, Humboldt Universität zu Berlin, Invalidenstr. 110, D-10115 Berlin

Im Gegensatz zur Niederenergieionenrückstreuung NICISS (Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy with Detection of Neutrals) wird bei NICASS (Impact Collision Atom Scattering Spectroscopy with Detection of Neutrals) ein gepulster Atomstrahl (He, 3 keV) anstelle eines Ionenstrahls an der Probe unter variablem Einfalls- und Azimutalwinkel gestreut. Die rückgestreuten He-Atome werden im Flugzeitspektrum registriert, wobei die Energie (Flugzeit) mit dem streuenden Element, die Rückstreuintensität dagegen mit der Oberflächenstruktur korreliert. Durch die Verwendung von neutralen Atomen als Projektile wird eine Beeinflussung der Bahntrajektorie durch die Aufladung einer hochisolierenden Probe (Sekundärelektronenemission) verhindert. Damit ist eine genaue Positionsbestimmung der Oberflächenatomkerne auch bei Isolatoren möglich. Alle bekannten Vorteile von NICISS, wie hohe Oberflächenempfindlichkeit und geringe Oberflächenzerstörung, bleiben erhalten. Erste Ergebnisse an Aluminium und seinen Oxiden werden vorgestellt.