Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 6: POSTER I

O 6.60: Poster

Montag, 17. März 1997, 14:15–15:45, AULA

In-situ Raumfrequenzanalyse von rauhen Oberflächen mittels SPA-LEED — •M. Huszar, F.-J. Meyer zu Heringdorf, U. Schneider und M. Horn-von Hoegen — Institut für Festkörperphysik, Universität Hannover, Appelstr. 2, D-30167 Hannover

Zur Charakterisierung vieler Prozesse der Oberflächenphysik und Dünnschichttechnologie werden in-situ monitoring Techniken benötigt, um z.B. Wachstumsprozesse bei der CVD Abscheidung zu studieren ohne sie durch die Anwesenheit einer STM Spitze zu beeinflussen. Wir stellen hochauflösende Elektronenbeugung (SPA-LEED) als Methode zur Bestimmung der langwelligen Rauhigkeit bei der Homoepitaxie von Si(111) mit Wasserstoff als Surfactant vor. Während des Wachstums facettiert die gesamte Oberfläche und bildet dreieckige Pyramiden aus, die mit steigender Silizium-Bedeckung größer werden. Das Beugungsbild ist im wesentlichen durch Facettenreflexe bestimmt. Nahe den Bragg-Bedingungen spiegelt sich jedoch die Größenverteilung der Silizium–Pyramiden in der Feinstruktur der Beugungsreflexe wieder. Es läßt sich im Rahmen der kinematischen Näherung sehr einfach zeigen und experimentell überprüfen, daß sich dann aus dem Beugungsprofil direkt das Powerspektrum der Oberflächenrauhigkeit ableiten läßt, das insbesondere von den langwelligen Raumwellenlängen der bis zu 400 Å großen Pyramiden dominiert wird.