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Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 6: POSTER I

O 6.71: Poster

Montag, 17. März 1997, 14:15–15:45, AULA

SPA-LEED-Untersuchungen zu thermischen Ausheilvorgängen, Stufendichten und epitaktischen Schichten auf CdTe(001) — •M. Schneider1, H. Neureiter1, M. Sokolowski1, E. Umbach1, S. Oehling2, C. Becker2, G. Landwehr2, S. Schinzer3 und W. Kinzel31Experimentelle Physik II — 2Experimentelle Physik III — 3Theoretische Physik III, Universität Würzburg, Am Hubland, D-97074 Würzburg

Die CdTe(001)-Oberfläche stellt eine wichtige Substratfläche für die Herstellung von II-VI-Halbleiterschichten mittels MBE dar. Insofern ist die Präparation von Ausgangsflächen mit geringen Defektdichten (z.B. Stufen) äußerst wichtig und außerdem von grundsätzlichem Interesse, da es bisher an II-VI-Oberflächen kaum detaillierte Strukturuntersuchungen gibt. Vorgestellt werden hier SPA-LEED-Messungen an CdTe(001) Oberflächen, die entweder durch Sputtern und Heizen oder durch Aufwachsen einer CdTe-Buffer-Schicht präpariert wurden.

Aus den Profilanalysen folgt, daß die Terrassen auf beiden Oberflächen durch Doppelstufen begrenzt werden und eine mittlere Größe von ca. 500 Å besitzen. Messungen während des thermischen Ausheilens der Oberfläche nach dem Sputtern zeigen, daß sich zunächst kleinere Inseln bilden, die dann zu größeren koaleszieren. Die LEED-Profile werden mit Profilen verglichen, die man aus Computer-Simulationen für das thermische Ausheilen erhält. (Gefördert durch SFB 410)

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