Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O I: HV I

O I.1: Hauptvortrag

Montag, 17. März 1997, 11:30–12:15, S 10

Intrinsische Spannungen von Oberflächen und epitaktischen Dünnschichten — •Reinhold Koch — Freie Universität Berlin, Arnimallee 14, D-14195 Berlin

Der Einsatz dünner und ultradünner Schichten in zukünftigen Bauelementen der Nanotechnologie setzt hohe Anforderungen an die strukturelle Güte und Reinheit der Dünnschichten, die derzeit nur durch epitaktisches Wachstum auf wohldefinierten einkristallinen Substraten erreicht werden. Aufgrund der häufigen Fehlanpassung zwischen den Kristallgittern von Filmmaterial und Substrat sind jedoch vielfach große Misfit-Spannungen (1 - 10 Gpa) mit Werten oberhalb der Zugfestigkeit der entsprechenden Volumenphasen (ca. 0.2 Gpa) zu erwarten, die einerseits zu veränderten physikalischen Eigenschaften führen können und deren Relaxation durch Versetzungen, Rißbildung usw. andrerseits eine lokale Störung der idealen Gitterperiodizität bewirkt. Im Vortrag wird eine Übersicht über bisherige experimentelle Ergebnisse von intrinsischen Spannungen epitaktischer Dünnschichten gegeben, die durch Wachstum entsprechend den bekannten Gleichgewichtsmoden bzw. bei Vorliegen von Ehrlich-Schwoebel-Diffusionsbarrieren präpariert wurden. Außerdem werden jüngere theoretische und experimentelle Ergebnisse elastischer Spannungen von reinen und adsorbatbedeckten Oberflächen diskutiert.