Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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PO: Polymerphysik

PO 4: Poster: Oberflächen und Grenzflächen

PO 4.11: Poster

Montag, 17. März 1997, 15:30–17:30, Gg

Charakterisierung der Bindungseigenschaften von Aluminium auf plasmabehandeltem Bisphenol-A-Polycarbonat mittels XPS — •H. Kopf, B. Gotsmann, C. Seidel und H. Fuchs — Physikalisches Institut der WWU Münster, Wilhelm-Klemm Str.10, 48149 Münster

In einer UHV-Apparatur wurde spritzgegossenes Bisphenol-A-Polycarbonat mit einer ECR-Mikrowellen-Plasmaquelle behandelt. Als Prozeßgase standen SF₆,O₂,N₂ sowie Ar zur Verfügung. Desweiteren wurden massen- und ionenspektrometrische Untersuchungen zur Plasmacharakterisierung durchgeführt, sowie Fragmente der Probe während des Plasmaätzens nachgewiesen. Die Proben konnten ohne Unterbrechung der Vakuumkette mit dünnen Aluminiumschichten bedampft und danach mit XPS und AFM untersucht werden. Insbesondere wurde die Stöchometrie und Chemie des Sauerstoffs in der Grenzschicht PC-Al untersucht.