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PO: Polymerphysik
PO 4: Poster: Oberflächen und Grenzflächen
PO 4.20: Poster
Monday, March 17, 1997, 15:30–17:30, Gg
Tiefenprofilmessungen von Diffusionsprofilen mit Hilfe der Methode der ioneninduzierten Photonenemission (IIPE) — •T. Benchekmoumou1, J. Brückner1,2 und R. Brenn1,3 — 1Fakultät für Physik, Uni. Freiburg — 2Forschungszentrum Rossendorf — 3Freiburger Materialforschungszentrum (FMF)
Ioneninduzierten Photonenemission ist neben der bekannteren
Meßmethode SIMS eine weitere Sputtermethode zur Untersuchung von Polymer-
bzw. Festkörperoberflächen und dünnen Schichten. Über elektrische
Dipolzerfälle von abgesputterten
und angeregten Atomen oder Ionen können elementspezifische Tiefenprofile
aufgenommen werden (Tiefenauflösung ca. 6nm). An transparenten Proben, wie
sie in unserem Fall vorlagen,
interferiert das emitierte Licht durch Reflexion an der Proben- und
Substratoberfläche. Bei bekanntem Brechungsindex des
untersuchten Materials gewinnt man dadurch eine direkte Eichung
der Sputterrate und damit der Tiefenskala.
Die Ausnutzung dieses Effektes bedeutet bei transparenten Proben
einen wesentlichen Vorteil von IIPE genüber SIMS.
Untersucht wurde jeweils das Mischungsverhalten des Doppelschichtsystems
PS/PSiαMS und die Strukturbildung im Diblockcopolymersystem P(S-b-DMS)
bei unterschiedlicher Temperung.
Am Beispiel vorliegender Messungen soll die Anwendung von IIPE in der
Analytik dünner Polymerfilme vorgestellt werden.