Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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PO: Polymerphysik

PO 4: Poster: Oberflächen und Grenzflächen

PO 4.20: Poster

Montag, 17. März 1997, 15:30–17:30, Gg

Tiefenprofilmessungen von Diffusionsprofilen mit Hilfe der Methode der ioneninduzierten Photonenemission (IIPE) — •T. Benchekmoumou¹, J. Brückner^1,2 und R. Brenn^1,3 — ¹Fakultät für Physik, Uni. Freiburg — ²Forschungszentrum Rossendorf — ³Freiburger Materialforschungszentrum (FMF)

Ioneninduzierten Photonenemission ist neben der bekannteren Meßmethode SIMS eine weitere Sputtermethode zur Untersuchung von Polymer- bzw. Festkörperoberflächen und dünnen Schichten. Über elektrische Dipolzerfälle von abgesputterten und angeregten Atomen oder Ionen können elementspezifische Tiefenprofile aufgenommen werden (Tiefenauflösung ca. 6nm). An transparenten Proben, wie sie in unserem Fall vorlagen, interferiert das emitierte Licht durch Reflexion an der Proben- und Substratoberfläche. Bei bekanntem Brechungsindex des untersuchten Materials gewinnt man dadurch eine direkte Eichung der Sputterrate und damit der Tiefenskala. Die Ausnutzung dieses Effektes bedeutet bei transparenten Proben einen wesentlichen Vorteil von IIPE genüber SIMS.
Untersucht wurde jeweils das Mischungsverhalten des Doppelschichtsystems PS/PSiαMS und die Strukturbildung im Diblockcopolymersystem P(S-b-DMS) bei unterschiedlicher Temperung.
Am Beispiel vorliegender Messungen soll die Anwendung von IIPE in der Analytik dünner Polymerfilme vorgestellt werden.