Münster 1997 – wissenschaftliches Programm
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 2: Supraleitung in Hochfrequenz und Elektronik
TT 2.5: Vortrag
Montag, 17. März 1997, 11:15–11:30, F2
HTSL-Multilagentechnologie für digitale Schaltungen — •Bernhard Ruck, Regina Dittmann, Bernd Oelze, Yonuk Chong, Georg Wahl, Achim Engelhardt, Cornelia Horstmann und Erik Sodtke — Institut für Schicht- und Ionentechnik (ISI), Forschungszentrum Jülich GmbH, D-52425 Jülich
Der Einsatz von Josephson-Kontakten für digitale Schaltungen erlaubt die Realisierung sehr schneller Digitalschaltungen bei geringer Verlustleistung, insbesondere bei Verwendung von RSFQ-Schaltungen [1]. Aufgrund des hohen IcRN-Produkts ermöglichen HTSL-Josephson-Kontakte besonders hohe Taktraten. Neben den Josephson-Kontakten selbst müssen aber auch Induktivitäten, Widerstände, Überkreuzungen und Durchkontakte hergestellt werden können, die sich mit den Josephson-Kontakten integrieren lassen. Speziell die Induktivitäten dürfen nur sehr kleine Werte von ca. 1–8 pH annehmen, um einzelne Flußquanten verschieben oder speichern zu können.
Kleine Induktivitäten in Multilagentechnologie (DC-Squid mit Grundplatte) wurden hergestellt und gemessen, wobei Werte von 0,8 pH pro Strukturquadrat ermittelt wurden. Durchkontakte und Überkreuzungen sowie metallische Widerstände und deren Kontaktierung zu YBCO wurden untersucht und optimiert. Alle Bausteine wurden mit frei plazierbaren Josephson-Kontakten in Rampengeometrie integriert.
[1] V.K.Semenov and K.K.Likharev, IEEE Trans. on Appl. Supercon. 1, 3 (1991)