Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 6: Postersitzung I: Mesoskopie(1-21), amorphe Metalle und Defektsysteme(22-29), Kryotechnik, Kernmagnetismus(30-37), festes N₂(38), Quantenflüssigkeiten und -kristalle(39-48), dünne supraleitende Filme(49-68), schwere Fermionen und Kondosysteme(69-92), Fullerene(93-94)

TT 6.49: Poster

Dienstag, 18. März 1997, 09:30–13:00, Z1

Laserdepositionsprozeß von epitaktischen YBa₂Cu₃O₇ Schichten für Mehrlagenbauelemente — •J.-K. Heinsohn, K.-O. Subke, A. Richter, D. Reimer und M. Schilling — Institut für Angewandte Physik und Zentrum für Mikrostrukturforschung, Universität Hamburg, Jungiusstraße 11, 20355 Hamburg

Die Laserdeposition mit einem gepulsten KrF-Excimerlaser von YBa₂Cu₃O₇-Schichten mit sehr guten elektrischen und morphologischen Eigenschaften für die Verwendung in Mehrlagenbauelementen untersuchen wir mit Methoden der statistischen Versuchsplanung und
-auswertung. Dabei wurden die Substrattemperatur, der Sauerstoffdruck, die Energiedichte auf dem Target, die Zahl der Laserpulse, die Laserfrequenz, sowie die Targetdichte und -oberflächenbehandlung variiert. Durch Anwendung von Varianz- und multipler Regressionsanalyse können die Effekte der Prozeßparameter und ihrer Wechselwirkungen quantitativ angegeben werden. Die c-achsenorientierten Schichten, die unter optimalen Bedingungen gewachsen werden, zeigen Sprungtemperaturen T_c ≥ 89 K, spezifische Widerstände ρ(100K) ≤ 60 µ Ω cm und Widerstandsverhältnisse R(300K)/R(100K) = 3. Sie weisen niedrige Ausscheidungsdichten und gute Homogenität auf. Es wurde ein Bereich im Parameterraum identifiziert, in dem alle Voraussetzungen für die Mehrlagentechnologie gleichzeitig erfüllt sind.

Gefördert vom BMBF unter FKZ 13N6734-0