Münster 1997 – scientific programme
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 6: Postersitzung I: Mesoskopie(1-21), amorphe Metalle und Defektsysteme(22-29), Kryotechnik, Kernmagnetismus(30-37), festes N2(38), Quantenflüssigkeiten und -kristalle(39-48), dünne supraleitende Filme(49-68), schwere Fermionen und Kondosysteme(69-92), Fullerene(93-94)
TT 6.51: Poster
Tuesday, March 18, 1997, 09:30–13:00, Z1
Untersuchung des Temperatureinflusses auf Sputtern und gepulste Bogenentladung an YBCO-Targets — •S. Sievers, A. Usoskin und H.C. Freyhardt — Zentrum für Funktionswerkstoffe, Windausweg 2, D-37073 Göttingen
Ziel der Untersuchungen ist die Charakterisierung von Einflüssen des
Abkühlens eines HTS-leitenden keramischen YBCO-Targets auf Temperaturen bis
unterhalb von Tc auf die Parameter der Gasentladungen, insbesondere
in Hinsicht auf eine Anwendung zur Filmdeposition. Hierzu wurde eine
spezielle Zelle entwickelt, die durch LN2 - bzw. Wasserkühlung eine
Targettemperatur von RT bzw. 77 K ermöglicht. Eine geeignete Wahl der
Kathodenform und des Sauerstoffpartialdruckes erlauben, einen Sputterbetrieb
bzw. alternativ eine Bogenentladung einzustellen. Letztere erfolgt mit einer
Ringkathode und wird durch Sauerstoffpulse getriggert. Durch zusätzliche
Strahlungsheizung kann die Targetoberflächentemperatur um Tc variiert
werden.
Die gepulste Bogenentladung zeigte bei geeigneter Formgebung des Plasmas
durch räumliche Begrenzung des Entladungsbereiches eine aus der Ringkathode
austretende Plasmakeule, die der bei der Laserablation auftretenden
vergleichbar ist und die sich zur Filmdeposition heranziehen läßt.
Bei Stickstoffkühlung zeigte sich eine anwendungsrelevante Erhöhung der
Stromdichte und der Targetlebensdauer sowie eine Stabilisierung der Prozesse
über lange Zeiten.