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TT: Tiefe Temperaturen

TT 6: Postersitzung I: Mesoskopie(1-21), amorphe Metalle und Defektsysteme(22-29), Kryotechnik, Kernmagnetismus(30-37), festes N2(38), Quantenflüssigkeiten und -kristalle(39-48), dünne supraleitende Filme(49-68), schwere Fermionen und Kondosysteme(69-92), Fullerene(93-94)

TT 6.56: Poster

Dienstag, 18. März 1997, 09:30–13:00, Z1

Einflu"s des Winkels zwischen Target und Substrat auf die
Eigenschaften laserdeponierter
YBa2Cu3O7−x–Schichten — •T. Schmauder1, A. Waldauf1,2, and P. Seidel11Institut f"ur Festk"orperphysik, Friedrich-Schiller-Universit"at Jena — 2Technische Universit"at Wien

Mittels Laserdeposition (KrF-Excimerlaser) wurden YBa2Cu3O7−x-D"unnfilme bei verschiedenen Winkeln zwischen Target und Substrat hergestellt. Als weitere Parameter wurden Pulsenergie und Sauerstoffdruck variiert, w"ahrend Target-Substrat-Abstand und Substrattemperatur konstant gehalten wurden. Die Schichten wurden bez"uglich der Kristallqualit"at mittels RBS und die Oberfl"achen rasterelektronenmikroskopisch untersucht, au"serdem wurde die kritische Temperatur TC0 resistiv bestimmt. Es zeigt sich, da"s TC0 bei on-axis-Geometrie maximal ist und mit zunehmendem Kippwinkel abnimmt. Andererseits h"angt die Oberfl"achenqualit"at bei gro"sen Kippwinkeln schw"acher von Pulsenergie und Sauerstoffdruck ab. Dies ist vermutlich auf die ge"anderte Lage des Substrates zur Plasmafackel zur"uckzuf"uhren, deren Struktur entlang der L"angsachse sich bei "Anderung von Pulsenergie oder Sauerstoffdruck st"arker "andert, als ihre seitliche Ausdehnung.

Diese Arbeit wurde gef"ordert durch das ERASMUS-Programm und die Graduiertenf"orderung des Freistaates Th"uringen.

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DPG-Physik > DPG-Verhandlungen > 1997 > Münster