Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 6: Postersitzung I: Mesoskopie(1-21), amorphe Metalle und Defektsysteme(22-29), Kryotechnik, Kernmagnetismus(30-37), festes N₂(38), Quantenflüssigkeiten und -kristalle(39-48), dünne supraleitende Filme(49-68), schwere Fermionen und Kondosysteme(69-92), Fullerene(93-94)

TT 6.65: Poster

Dienstag, 18. März 1997, 09:30–13:00, Z1

Präparation von Bi₂Sr₂Ca₁Cu₂O_8+δ-Filmen durch Kathoden-
zerstäubung im ECR-Plasma — •T. Kempa, E. Brecht, G. Linker, O. Meyer und J. Geerk — Forschungszentrum Karlsruhe, INFP, Postfach 3640, D-76021 Karlsruhe

Bei der Herstellung von HTSL-Filmen ist man bestrebt, die Deposition bei möglichst niedrigen Substrattemperaturen durchzuführen, um Reaktionen zwischen Film und Substrat zu vermeiden. Aufgrund von Stabilitätsbedingungen kann eine Absenkung der Substrattemperatur über eine Verringerung des Sauerstoffpartialdruckes erzielt werden. Dies ist durch die Verwendung von Elektron-Zyklotron-Resonanz (ECR) unterstützter Kathodenzerstäubung möglich, bei der eine Deposition unter diesen niedrigen Druckbereichen erzielt werden kann. Mit dieser Methode wurden dünne Bi₂Sr₂Ca₁Cu₂O_8+δ-Filme hergestellt. Für die Deposition wurden gleichzeitig ein stöchiometrisches 2212-Target und ein reines Bi-Target verwendet, mit denen es auch bei niedrigen Gesamtdrücken (10⁻³ mbar) möglich war, stöchiometrische 2212-Filme zu erhalten. Bei niedrigen Spannungen (<75 V) und niedrigem Sauerstoffpartialdruck (10⁻⁴ mbar) konnten bei Substrattemperaturen zwischen 630^∘C und 700^∘C c-Achsen-orientierte BSCCO-Filme auf MgO und SrTiO₃ mit induktiven Übergangstemperaturen T_c um 70 K realisiert werden. Die Filme zeigten in ω-Scans Halbwertsbreiten um 0.3^∘. In AFM-Untersuchungen findet man glatte Oberflächen mit einer mittleren Rauhigkeit R_a um 2 nm.