Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumpumpen

VA 1.2: Vortrag

Montag, 17. März 1997, 10:40–11:00, ZH

Einfache Funktionstest von Turbopumpen — •S. Ernst, P. Reimer, F. J. Schittko und H. G. Stüber — Leybold Vakuum GmbH

Allgemein wird für das Saugvermögen von Turbopumpen die Proportionalität zur Drehzahl des Rotors angenommen. Diese Annahme ist leicht prüfbar durch die Bestimmung des relativen Saugvermögens S_rel=S/f. Diese Größe sollte zumindest im Bereich des Arbeitspunktes konstant sein. Wenn diese Forderung für eine Pumpe nicht erfüllt ist, läßt sich dies durch eine Änderung der Eingangsstufe erreichen. Der Leitwert der Eingangsstufe ist wichtig für das Saugvermögen einer Turbopumpe. Bei konstantem Saugvermögen müßte sich ein linearer Zusammenhang zwischen der eingelassenen Gasmenge Q und dem Hochvakuumdruck p_HV ergeben. Wenn man den Gaseinlass Q ändert, läßt sich die Druckänderung in vielen Fällen durch eine Regression der Form: p_HV=a₀+a₁· Q + a₂· Q² gut darstellen. Die Dimension von a₁ entspricht einem Strömungswiderstand beziehungsweise einem reziproken Leitwert L, der gleich dem Saugvermögen S ist. Der Koeffizient a₂ zeigt die Abweichung vom idealen Verhalten. Beide Verfahren eignen sich zur Kontrolle der Pumpqualität.