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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumpumpen

VA 1.4: Vortrag

Montag, 17. März 1997, 11:20–11:40, ZH

Untersuchung des Einflusses einer Vorleitstufe auf das Saugvermvgen einer Turbomolekularpumpe — •Ch. Beyer, H. Paßmann und P. Plingen — Leybold Vakuum GmbH

Zur Erhöung des Saugvermögens einer Turbomolekularpumpe wurden experimentell verschiedene Konfigurationen von Leitgittern untersucht, die vor die Ansaugstufe der Pumpe geschaltet werden. Den Ausgangspunkt für die Untersuchungen bildet die Hypothese, das sich im Bereich der sogenannten Kudsenströmung (Übergang von der Molekular- zur Kontinuumsströmung) eine oberhalb des Rotors mitrotierende Gasschicht aufbaut. Diese soll durch eine geeignete Gestaltung des Leitgitters gezielt in den Rotor hineingelenkt werden. Im Experiment wurden die Existenz einer solchen Gasschicht und ihre Beeinflussbarkeit prinzipiell bestätigt. Aufgrund des zusätzlichen Leitwertverlustes der Vorstufe konnte ein Zuwachs des effektiven Saugvermögens in praxisrelevante Grössenordnungen jedoch erreicht werden.