Münster 1997 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumpumpen

VA 1.5: Talk

Monday, March 17, 1997, 11:40–12:00, ZH

Gestaltung von Verdichterstufen für Turbomolekularpumpen für den Druckbereich 0.01 bis > 2 mbar — •Ch. Beyer, R. Schneiders, M. Gregor und P. klinger Klingner — Leybold Vakuum GmbH

Es werden Ansätze und Ergebnisse zur Gestalung von Rotor und Statorgeometrien für den Druckbereich 0.01 bis 2 mbar vorgestellt. So ausgelegte TMPs werden durch die Firma Leybold als TMP-advanced für verschiedenste Anwendungen angeboten. Diese Vakuumpumpen schliessen die Lücke konventionellen TMPs und solchen mit Compoundstufen wie beispielsweise Gewinde- oder Siegbahnstufen bei Beibehaltung der Eignung dieser Verdichter für große Durchsätze. Ebenso ist damit auch die Gestaltung eines homogenen Überganges von axialen Verdichtungsstufen zu Gewinde- oder Siegbahnstufen besser als bisher möglich. Grundlage der Gestaltung ist die konsequente Nutzung der Gesetze des laminaren Flows und die Vermeidung unnötiger Öffnungen für schädliche Rückströmungen.