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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 4: Große Vakuumsysteme UHV XHV

VA 4.2: Vortrag

Dienstag, 18. März 1997, 11:00–11:20, ZH

Verschiedene Pumpenkonfigurationen zur UHV-Erzeugung unter 10-10 mbar — •Oliver Franz Otto Kieler, Wolfram Knapp und Christian Edelmann — Otto-von-Guericke-Universität, FNW, IEP, Abt. Vakuumphysik und -technik

Es wurden verschiedene Kombinationen von Turbomolekularpumpe, Badkryopumpe und nichtverdampfbaren Gettern (NEG-Module mit dem Material ST707) bezüglich des unteren Grenzdruckes untersucht. Hierfür wurde ein spezieller Versuchsstand mit mehreren Ganzmetallschiebern aufgebaut. Zur Druckmessung unter 10-10 mbar dienten sowohl das kommerzielle Extraktormanometer IE514 als auch ein selbst entwickeltes invertiertes Extraktormanometer. Desweiteren wurde ein Quadrupolmassenspektrometer mit SEV für die Restgasanalyse verwendet. Mit Hilfe eines PC-Meßplatzes wurden für alle wichtigen Operationen und Störeinflüsse die Druck-Zeit-Verläufe erfaßt und ausgewertet. Die erhaltenen Resultate werden hinsichtlich der Erweiterung des unteren Druckbereichs in Richtung XHV diskutiert.