Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm

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CP: Chemische Physik

CP 6: Elektrische und optische Eigenschaften von organischen Materialien

CP 6.39: Poster

Montag, 9. März 1998, 18:00–20:00, P1

Herstellung d”unner Fluorkohlenstofffilme durch gepulste Laserabscheidung — •Reinhard; Johannes; Siegfried Schw”odiauer; Heitz; Bauer — Angewandte Physik, Johannes-Kepler-Unversit”at, A-4040 Linz, ”Osterreich

Fluorkohlenstofffilme sind interessante Materialien f”ur Anwendungen in der Mikroelektronik und Sensorik. Wir berichten hier ”uber die Herstellung d”unner Filme durch gepulste Laserablation mit einem KrF-UV-Excimerlaser. Als Ausgangsmaterial wurden dazu gepresste Teflonpulverproben verwendet. Die Filme wurden auf ihre optischen und elektrischen Eigenschaften untersucht. Besonderes Augenmerk wurde dabei auf die Ladungsstabilit”at solcher Filme gelegt.