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K: Kurzzeitphysik

K 5: Laser-Anwendungen/-Materialbearbeitung

K 5.6: Vortrag

Dienstag, 10. März 1998, 17:15–17:30, H8

LSM-Untersuchungen von Polyimidstrukturen nach dem Abtragen mit Excimerlaser als Beitrag zum Prozeßverständnis — •K. Jasper, M. Willert, P. Berger, and H. Hügel — Institut für Strahlwerkzeuge, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 43, D-70569 Stuttgart

Beim Abtragen von Polyimiden mittels Excimerlaser weist trotz homogener Energiedichteverteilung auf dem Werkstück der Abtragsgrund eine mehr oder weniger starke Unebenheit auf, die oft auch als W-Form bezeichnet wird. Variiert man Fokusdurchmesser, Pulszahlen und Energiedichten kann durch die systematische Untersuchung dieser Strukturen, was die Ermittlung der Abtragsraten einschließt, sowohl auf den Ablationsprozeß an der Materialoberfläche als auch auf die Ausdünnung des Materialdampfes in der Wechselwirkungszone zwischen Stoßfront und Materialoberfläche Rückschlüsse gezogen werden. Die experimentellen Daten werden Simulationsrechnungen gegenüber gestellt, die die Geometrie der erzeugten Struktur unter Berücksichtigung der Fokussier- bzw. Abbildungsbedingungen und Einbeziehung der Mehrfachreflexion berechnen.