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P: Plasmaphysik
P 17: Plasma-Wand-Wechselwirkung I
P 17.4: Talk
Wednesday, March 11, 1998, 17:00–17:15, H 14
Automatisierte Konzentrationstiefenprofilgewinnung aus
Rutherford-Rückstreuspektren — •U. v. Toussaint, K. Krieger, R. Fischer und V. Dose — Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstr. 2, D-85748 Garching
Die Ermittlung der tiefenaufgelösten Zusammensetzung einer Materialprobe
aus einem
gemessenen Rutherford-Rückstreuspektrum
ist ein schlecht konditioniertes Problem. Bei einer
least-square-Anpassung werden in den
meisten Fällen aufgrund der beliebig wählbaren Zahl von Freiheitsgraden
entweder die zur Verfügung stehenden Daten
nicht vollständig ausgenutzt, oder es kommt zu einem Oszillieren der
errechneten Konzentrationsprofile. Durch die Verwendung der Bayesschen
Wahrscheinlichkeitstheorie
existiert nun ein Verfahren, das einen konsistenten Umgang mit dem
inversen Problem der
Tiefenprofilgewinnung aus einem RBS-Spektrum erlaubt.
Die Möglichkeiten des Verfahrens werden anhand der Analyse von
Schichtproben,
die bei einem Erosionsexperiment am Tokamak ’ASDEX-Upgrade’ eingesetzt
wurden, aufgezeigt.