Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 18: Plasmatechnologie I
P 18.2: Vortrag
Mittwoch, 11. März 1998, 16:30–16:45, H 13
Gezielte Erosion einer Magnesium-Elektrode in einer zylindrischen Hochfrequenzentladung — •A. Georg, V. Wingsch, J. Engemann und A. Brockhaus — Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik – fmt, Universität Gesamthochschule Wuppertal, Obere Lichtenplatzer Str. 336, D-42287 Wuppertal
Eine zylindrische, magnetfeldunterstützte, hochfrequenzangeregte Ionenstrahlquelle wurde ohne Extraktionsoptik in Argon betrieben [1]. Als zentrale Anregungselektrode dient üblicherweise eine Keramik, die in diesem Experiment durch eine Magnesiumelektrode ersetzt wurde. Wir haben den Sputter-Abtrag an Magnesium vermessen. Zur Diagnostik kamen Emissionsspektroskopie, Quadrupol-Massenspektrometrie und Laser-induzierte Fluoreszenz LIF zum Einsatz. Das LIF-Experiment verwendet sowohl zur Anregung als auch zur Detektion den Grundzustandsübergang 3p1P1o← 3s1S0. Die abstimmbare Pumpwellenlänge von 285.2 nm wird durch ein gepulstes, frequenzverdoppeltes Farbstofflasersystem erzeugt. Wir diskutieren die Abhängigkeit der Mg-Abtragsrate von den Plasmabedingungen [2].
[1] A. Brockhaus, Y. Yuan, J. Engemann, J. Vac. Sci. Technol. A 13(2), 400 (1994)
[2] gefördert durch die DFG unter Br1407/1-3