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P: Plasmaphysik

P 24: Entladungen (Poster)

P 24.15: Poster

Monday, March 9, 1998, 18:00–20:00, P 2

Charakterisierung einer trapezförmig getriebenen Sauerstoff-Entladung in einer GEC-Quelle — •E. Quandt, H.-M. Katsch und H.F. Döbele — Institut für Laser- und Plasmaphysik, Universität GH Essen, Universitätsstr. 5, D-45117 Essen

Alternativ zur sinusförmig getriebenen Radiofrequenz-Entladung wird eine Entladung mit einem trapezförmigen Verlauf der Plasmaspannung betrieben. Der große Vorteil dieses Entladungstyps liegt in der zeitlichen Trennung der Elektronenenergieaufnahme aufgrund des Verschiebungsstromes (Alpha-Mechanismus), welche nur in den Spannungsflanken (<15 ns) auftritt, von der Sekundärelektronenemission (Gamma-Mechanismus) während des Spannungsplateaus. Dadurch kann die Elektronenenergiedynamik beider Mechanismen getrennt voneinander untersucht werden [1]. Zur Charakterisierung der derart betriebenen Sauerstoff-Entladung wird neben orts- und zeitaufgelöster Emissionsspektroskopie und Langmuir-Sondendiagnostik auch ’Photodetachment’ an negativen Ionen in Verbindung mit Sonden als weitere Diagnostik eingesetzt. Die Ergebnisse werden sowohl im Vergleich zur trapezförmig getriebenen Helium-Entladung als auch zur sinusförmig (13,56 MHz) getriebenen Sauerstoffentladung diskutiert.
Dieses Vorhaben wird von der DFG im Rahmen des SFB 191 gefördert.
[1] Quandt et al., J. Phys. D: Appl. Phys. 29(8), S.2098 (1996)