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P: Plasmaphysik
P 27: Plasmatechnologie (Poster)
Monday, March 9, 1998, 18:00–20:00, P 2
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18:00 | P 27.1 | Verdampfung von Zirkonoxid in einem induktiv gekoppelten Plasma — •G. Lins, D.W. Branston und J. Verleger |
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18:00 | P 27.2 | Einsatz der optischen Emissionsspektroskopie zur Analyse des Titannitrid-Beschichtungsprozesses mittels der PACVD-Technik — •M. Eckel, P. Hardt, O. Morlock und M. Schmidt |
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18:00 | P 27.3 | Herstellung gastrennender Polymermembranen durch Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan (HMDSO) — •K. Li und J. Meichsner |
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18:00 | P 27.4 | Untersuchungen zum Schadstoffabbau mittels Barrierenentladungen — •J. Schwarz und S. Müller |
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18:00 | P 27.5 | Experimentelle Untersuchungen zur Stoffwandlung in Gemischen von CO2 mit CH4, H2 und He in der Barrierenentladung — •H.-E. Wagner, K.V. Kozlov, and P. Michel |
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18:00 | P 27.6 | Randschichtprobleme in einem reaktiven Plasma variabler Anregungsfrequenz — •M. Heintze und R. Zedlitz |