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P: Plasmaphysik

P 27: Plasmatechnologie (Poster)

Montag, 9. März 1998, 18:00–20:00, P 2

	18:00	P 27.1	Verdampfung von Zirkonoxid in einem induktiv gekoppelten Plasma — •G. Lins, D.W. Branston und J. Verleger
	18:00	P 27.2	Einsatz der optischen Emissionsspektroskopie zur Analyse des Titannitrid-Beschichtungsprozesses mittels der PACVD-Technik — •M. Eckel, P. Hardt, O. Morlock und M. Schmidt
	18:00	P 27.3	Herstellung gastrennender Polymermembranen durch Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan (HMDSO) — •K. Li und J. Meichsner
	18:00	P 27.4	Untersuchungen zum Schadstoffabbau mittels Barrierenentladungen — •J. Schwarz und S. Müller
	18:00	P 27.5	Experimentelle Untersuchungen zur Stoffwandlung in Gemischen von CO2 mit CH4, H2 und He in der Barrierenentladung — •H.-E. Wagner, K.V. Kozlov, and P. Michel
	18:00	P 27.6	Randschichtprobleme in einem reaktiven Plasma variabler Anregungsfrequenz — •M. Heintze und R. Zedlitz