Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 29: Diagnostik (Poster)

P 29.16: Poster

Dienstag, 10. März 1998, 16:00–18:00, P 2

Untersuchungen zu zeitabhängigen Besetzungsdichteverteilungen in gepulsten Nichtgleichgewichtsplasmen — •N. Lang¹, M. Käning¹, V. L. Ovtchinnikov², B. P. Lavrov² und J. Röpcke¹ — ¹Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik, Greifswald, Germany — ²Faculty of Physics, St. Petersburg State University, 198904 Russia

Das Pulsen molekularer Nichtgleichgewichtsplasmen kann im Hinblick auf plasmatechnologische Anwendungen (z.B. Schichtabscheidung und Oberflächenbehandlung) einen wesentlichen Einfluß auf die Effizienz solcher Verfahren haben. Das Verständnis der Plasmaprozesse erfordert die Untersuchung zeitabhängiger molekularer Anregungs- und Relaxationsphänomene.

Dieser Beitrag beschäftigt sich mit der emissionsspektroskopischen Analyse einer gepulsten Ar/H₂-Mikrowellenentladung. Anhand der zeitaufgelösten Messung von H₂-Moleküllinien werden die Besetzungsdichteverteilungen für bis zu 13 rotatorische Niveaus verschiedener rovibronischer Übergänge bestimmt. Die sich daraus ableitbaren Rotationstemperaturen werden mit der aus ebenfalls zeitaufgelösten Messungen der Dopplerbreiten von atomaren H- sowie H₂-Linien bestimmten Neutralgastemperatur verglichen. Es wird eine Auflösung im Nanosekundenbereich erreicht, wobei Leistungen bis zu 6 kW in das Plasma eingekoppelt werden. Über Abhängigkeiten von Pulsdauer und Tastverhältnis wird berichtet.