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P: Plasmaphysik

P 29: Diagnostik (Poster)

P 29.24: Poster

Dienstag, 10. März 1998, 16:00–18:00, P 2

Phasenaufgel"oste Messungen von Ionenenergieverteilungsfunktionen an den Elektroden einer 50-kHz-Niederdruckentladung — •M. Geigl and J. Meichsner — Institut f"ur Physik, TU Chemnitz, Reichenhainer Str. 70, D-09107 Chemnitz

Gegenstand der Untersuchungen ist eine in bezug auf das Massepotential symmetrische Niederdruckentladung (Parallelplattenanordnung, Elektrodenabstand 3,5 cm) bei einer Anregungsfrequenz von 50 kHz. Niederdruckentladungen in einem Frequenzbereich von einigen 10 kHz k"onnen als sich mit der Anregung umpolende Gleichstromentladungen (Quasigleichstromentladungen) interpretiert werden. W"ahrend des Nulldurchganges der angelegten Spannung verbleiben allerdings noch gen"ugend Ladungstr"ager im Volumen, so da"s keine vollst"andige Neuz"undung erforderlich ist. Es wurden durch Ionenextraktion und energieselektive Massenspektrometrie Ionenenergieverteilungsfunktionen (IEVF) einer Sauerstoffentladung im Druckbereich zwischen 5 und 50 Pa zeitaufgel"ost gemessen.