Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 29: Diagnostik (Poster)

P 29.48: Poster

Dienstag, 10. März 1998, 16:00–18:00, P 2

Neutralgaszusammensetzung in einem 27 MHZ ICP Reaktor zur Diamantdeposition: Messungen und Simulation — •R. Schwefel, C. Zimmermann und P. Awakowicz — Lehrstuhl für Technische Elektrophysik, TU-München, 80290 München

Bei der Konstruktion neuartiger Reaktoren zur PCVD Diamantsynthese, sowie zur gezielten Optimierung der Prozesse ist es wesentlich, die zugrundeliegenden Mechanismen zu verstehen. Die von den physikalischen Plasmaparametern angetriebene Plasmachemie bestimmt die Gasphasenzusammensetzung im aktiven Volumen. Zur Untersuchung der physikalischen und chemischen Vorgänge standen drei Diagnostikverfahren zur Verfügung. Alle Messungen wurden an einem induktiv gekoppelten 27 MHZ Kurzwellenreaktor mit Faraday Shield durchgeführt. Die Plasmaparameter Elektronendichte, Elektronentemperatur und Plasmapotential konnten unter Verwendung einer automatischen Langmuirsonde ermittelt werden. Einblicke in die Neutralgaszusammensetzung lieferten Messungen mit einem Hiden EQP 300 Massenspektrometer. Weitere Informationen konnten durch Spektroskopie des vom Plasma emittierten Lichtes gewonnen werden. Ebenso präsentiert werden Simulationsergebnisse zur Neutralgaszusammensetzung die unter Verwendung des Simulationspaketes CHEMKIN III erhalten wurden.