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Bayreuth 1998 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 29: Diagnostik (Poster)

P 29.56: Poster

Tuesday, March 10, 1998, 16:00–18:00, P 2

Bestimmung der Dichte negativer Sauerstoff-Ionen in einer 13,56 MHz RF-Entladung — •T. Sturm, H.-M. Katsch, E. Quandt, and H.F. D"obele — Institut f"ur Laser- und Plasmaphysik, Universit"at GH Essen, Universit"atsstr. 5, D-45117 Essen

In einer Sauerstoff-RF-Entladung (GEC-reference-cell) wird mittels Photodetachment der negativen Sauerstoff-Ionen in der Umgebung einer zylindrischen Langmuir-Sonde die Dichte der O-Ionen bestimmt. Als Strahlungsquelle f"ur das Photodetachment wird ein Nd:YAG-Laser mit Frequenzverdopplung (λ=532 nm, Emax=300 mJ) verwendet. Es zeigt sich, da"s die Dichte der negativen Sauerstoff-Ionen bei konstanter RF-Anregungsspannung in einem Druckbereich von 10-100 Pa nur gering vom Druck abh"angt. Bei konstantem Druck und Erh"ohung der RF-Anregungsspannung steigt die O-Dichte linear an. Die Ergebnisse der Messungen lassen sich mit einer Modellrechnung in einem Druckbereich bis 30 Pa quantitativ und dar"uber hinaus qualitativ vergleichen.
Dieses Vorhaben wird von der DFG im Rahmen des SFB 191 gef"ordert.

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