Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 4: Entladungen I

Montag, 9. März 1998, 14:00–15:30, H 6

	14:00	P 4.1	Fachvortrag: I(U)-Kennlinien des Plasmagenerators PSI-1: Experiment und Theorie — •D. Naujoks, G. Fu"smann, and H. Meyer
	14:30	P 4.2	Zweidimensionale kinetische Modellierung der planaren induktiv gekoppelten Entladung in Argon — •Gerd Mümken
	14:45	P 4.3	Modellierung einer planaren Magnetron-Sputter-Quelle — •A. Neuffer und A. Lunk
	15:00	P 4.4	Ein großvolumiges ECR–Plasma: Modellrechnungen und erste Meßergebnisse — •D. Hemmers, M. David, H. Kempkens, S. Ostrowski, H. B. Schweer, J. Winter und J. Uhlenbusch
	15:15	P 4.5	Plasmadiagnostische Sondenmessungen an einer HF-Ionenquelle bei gleichzeitiger Untersuchung der extrahierten Ionen — •Peter Fahrenbach, Klaus Groh und Horst Löb