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P: Plasmaphysik

P 4: Entladungen I

P 4.2: Vortrag

Montag, 9. März 1998, 14:30–14:45, H 6

Zweidimensionale kinetische Modellierung der planaren induktiv gekoppelten Entladung in Argon — •Gerd Mümken — Institut für Experimentalphysik II, Ruhr–Universität Bochum

In den letzten Jahren ist die planare induktiv gekoppelte Entladung wegen ihrer für technische Anwendungen interessanten Eigenschaften Gegenstand intensiver Forschung gewesen. Die Modellierung des Plasmas bildet dabei einen der Schwerpunkte. Zur Vereinfachung wird zum einen versucht, die räumliche Abhängigkeit der Elektronenverteilungsfunktion (EVF) durch Mittelung über das Entladungsvolumen im Rahmen der nichtlokalen Näherung zu umgehen [1]. Ein zweiter Ansatz besteht darin, daß die Abweichungen der EVF von der Maxwellverteilung vernachlässigt werden, und die räumliche Abhängigkeit im Rahmen eines Fluidmodells behandelt wird [2]. Im Rahmen dieser Arbeit wird die EVF selbstkonsistent kinetisch bei vollständiger Berücksichtigung der Raumableitungen gelöst. Dabei wird eine Entladung mit einem Durchmesser von 50 cm betrachtet. Der Entladungsdruck wird im Bereich zwischen 0.3 und 30 Pa variiert. Die berechneten Profile und Verteilungsfunktionen werden Messungen gegenübergestellt, die mit Langmuir-Sonden durchgeführt wurden.

[1] U. Kortshagen, I. Pukropski, L. D. Tsendin, Phys. Rev. E 51, 6063 (1995)

[2] M. Li, H.-M. Wu, Y. Chen, IEEE Trans. Pl. Sci. 23, 558 (1995)