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P: Plasmaphysik

P 4: Entladungen I

P 4.3: Vortrag

Montag, 9. März 1998, 14:45–15:00, H 6

Modellierung einer planaren Magnetron-Sputter-Quelle — •A. Neuffer und A. Lunk — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart,Pfaffenwaldring 31, 70569 Stuttgart

Das Plasma der Magnetron-Entladung kann in einen magnetisierten und einen nichtmagnetisierten Bereich aufgeteilt werden. Der magnetisierte Entladungsbereich wird mit einem Zweiflüssigkeitsmodell für Ionen und Elektronen beschrieben. Das Modell berücksichtigt für die Elektronenbewegung Drift, Diffusion und Thermodiffusion. Die Beschreibung der Ionenflüssigkeit erfolgt durch die Impulsbilanz mit Ionisation und Umladungsstößen als Reibungsterm. Die Randbedingungen werden durch die experimentell ermittelten Plasmaparameter festgelegt. Der aus Messungen mit Langmuirsonden gewonnene Dichteverlauf läßt sich nur unter Annahme der Existenz hochenergetischer Elektronen simulieren. Der Nachweis dieser superthermischen Elektronen konnte mit der Emissionsspektroskopie erbracht werden. Der nichtmagnetisierte Bereich ist durch eine geringe elektrische Feldstärke charakterisiert und kann als zerfallendes Plasma beschrieben werden.