Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 9: Diagnostik III

P 9.3: Vortrag

Dienstag, 10. März 1998, 10:00–10:15, H 15

Messung der radialen Elektronendichteverteilung in einer RF-Entladung mit einem 1 mm Heterodyn-Interferometer — •V. Schulz-von der Gathen, C. Lukas, M. M"uller, and H.F. D"obele — Institut f"ur Laser- und Plasmaphysik, Universit"at Essen, Universit"atsstr. 5, D-45117 Essen

Es werden radial aufgel"oste Messungen der Elektronendichte in einem Plasmareaktor mit Edelstahlelektroden (d =100 mm) bei einem Plattenabstand von 40 mm vorgestellt. Das verwendete Heterodyn- Mikrowelleninterferometer [1] arbeitet mit einer Gunn-Diode mit Frequenzverdreifachung bei einer Wellenl"ange von λ = 1 mm. Die erreichte Ortsaufl"osung transversal zum Strahl betr"agt ca. 6 mm. Es wurde ein spezielles Entladungsgef"a"s mit verschiebbarer Elektrodenkonstruktion verwendet. Damit konnten Messungen bis zu einer Entfernung von 80 mm von der Achse ausgef"uhrt werden, aus denen mit Hilfe einer Abel-Inversion radiale Dichteprofile berechnet wurden. Me"sreihen wurden an verschiedenen axialen Positionen bis auf jeweils 7 mm an die Elektroden heran durchgef"uhrt. Die erreichte Aufl"osungsgrenze betr"agt ca. 6 · 10 ⁻⁵ einer Periode. Es wurden Elektronendichten von ca. 2 · 10¹⁵ m⁻³ bis ca. 9 · 10¹⁶ m⁻³ bestimmt. Die Profile werden mit Sondenmessungen verglichen.
Gef"ordert von der DFG im Rahmen des SFB 191.

[1] N. Niem"oller, et.al.; Plasma Sources Sci. Technol. 6 (1997) 478-483