Bayreuth 1998 – scientific programme

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PO: Polymerphysik

PO 6: Poster: Dünne Filme

PO 6.2: Poster

Wednesday, March 11, 1998, 15:25–17:15, P1

Energiedispersive Röntgenreflektometrie an dünnen Schichten — •Gerhard Weiß¹, Thomas Pieper² und Wolfgang Wilke¹ — ¹Universität Ulm, Abt. Experimentelle Physik, 89069 Ulm — ²Universität Ulm, c/o Abt. Experimentelle Physik, Liststr. 3, 89079 Ulm

Bei Röntgenmessungen an dünnen Schichten in symmetrischer Reflexionsgeometrie erhält man bei kleinen Einstrahlwinkeln oberhalb des kritischen Winkels der Totalreflexion einen Reflex, dessen Struktur Kiessig-Fringes aufweist. Diese Interferenzen, die durch die reflektierte Strahlung an den Grenzflächen Luft-Probe bzw. Probe-Substrat entstehen, liefern Informationen über die Schichtdicke, die gesamte Streukurve ermöglicht die Bestimmung des Elektronendichteprofils senkrecht zur Probenoberfläche. In diesem Beitrag stellen wir die energiedispersive Röntgenreflektometrie (EDXR) vor, die durch die kontinuierliche Wellenlängenverteilung gegenüber dem konventionellen Verfahren mehrere Vorteile mit sich bringt. Die Eindringtiefe in die Probe hängt von der Energie ab und kann somit verändert werden. Durch den Multiplexvorteil kann desweiteren das gesamte Streubild erfaßt werden, wodurch Messungen an Probenoberflächen sinnvoll sind, die sich zeitlich verändern (z.B. Oxidation, Schmelzen). Es werden die entsprechenden theoretischen Grundlagen vorgestellt und dazu Messungen an Metallschichten definierter Dicken sowie an dünnen Polymerfilmen gezeigt.