Bayreuth 1998 – scientific programme

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PO: Polymerphysik

PO 7: Poster: Oberflächen und Grenzflächen

PO 7.11: Poster

Wednesday, March 11, 1998, 15:25–17:15, P1

SF₆ -Plasmaätzung und Al-Metallisierung von Bisphenol-Polycarbonat. Charakterisierung mittels Kaftmikroskopie/-spektroskopie (AFM/AFS), Massenspektrometrie (MS) und Elektronenspektroskopie (XPS) — •C. Seidel¹, B. Gotsmann¹, H. Kopf¹, K. Reihs² und H. Fuchs¹ — ¹Physikalisches Institut, WWU-Münster, Wilhelm-Klemm-Str. 10, 48149 Münster — ²BAYER Zentrale Forschung und Entwicklung

Die Einflüsse eines SF₆ - Plasmas auf morphologische sowie chemische Eigenschaften des Bisphenol-A-Polycarbonat sowie der Metallisierung mit Aluminium wurden untersucht. Massen- sowie Ionenspektroskopie wurden zur Charakterisierung des Plasmas sowie des Ätzprozesses eingesetzt. Während der Ätzung konnte ein Abtrag der Massen 19, 28, 32 (HF, CO (N₂), CF), sowie der Einschluß von Fluor in das Polycarbonat beobachtet werden. An der PC-Oberfläche konnte durch XPS-Messungen die Bildung von C-F, C−F₂ wie auch die Reduktion des carboxylischen Sauerstoffs nachgewiesen werden. Bei der darauffolgenden Metallisierung entsteht eine Al-F Grenzschicht. Ein Aufwachsen von metallischen Aluminium ist erst bei einigen Nanonmetern Schichtdicke beobachtbar. Bei kurzen Behandlungszeiten ist eine Aufrauhung der Oberfläche (20-40nm) mit dem AFM nachzuweisen.