Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm

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PO: Polymerphysik

PO 7: Poster: Oberflächen und Grenzflächen

PO 7.12: Poster

Mittwoch, 11. März 1998, 15:25–17:15, P1

Charakterisierung von plasmabehandelten sowie metallisierten Bisphenol-A-Polycarbonat mittels XPS, AFM und Massenspektrometrie — •H. Kopf¹, C. Seidel¹, B. Gotsmann¹, K. Reihs² und H. Fuchs¹ — ¹Physikalisches Institut, WWU-Münster, Wilhelm-Klemm-Str. 10, 48149 Münster — ²BAYER Zentrale Forschung und Entwicklung

Bisphenol-A-Polycarbonat wurde unter Reinstgasbedingungen mit einem Argonplasma (ECR) (Arbeitsdruck 5*10⁻⁶mbar) behandelt. Die Meßmethoden Kraftmikroskopie (AFM), Elektronenspektroskopie (XPS) und Massenspektrometrie (MS) standen für die Messungen in einer UHV-Anlage zur Verfügung, wobei die Massenspektroskopie zur in situ Charakterisierung des Ätzprozesses eingesetzt wurde. Bei einer Ar-Plasmaätzdauer die zur Haftungsverbesserung von Metallen eingesetzt wird konnte mittels AFM eine Morphologieänderung auf einer 8nm Scala beobachtet werden. Bei der Plasmabehandlung ist durch die in situ Massenspektrometrie ein Abtrag der Massen 44, 28, 15 (CO₂, CO, CH₃) nachweisbar. Dieses entspricht, wie auch im XPS zu sehen, ein Aufbrechen der Carboxylgruppen an der Oberfläche des Polycarbonats, sowie einem Abtrag von Methylgruppen. Bei der Metallisierung mit Aluminium bildet sich nach der Plasmabehandlung eine Al-Ox sowie Al-C-Schicht.