Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm
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SYB: Symposium Polymere und kleine Moleküle an Grenzflächen
SYB 4: Polymere und kleine Moleküle an festen Grenzflächen
SYB 4.16: Poster
Dienstag, 10. März 1998, 18:00–20:00, P1
Makromolekulare Konzepte zur makroskopischen Nanostrukturierung von Substraten — •Joachim Spatz1, Martin Möller1, Alexander Semenov1, Jürgen Schneider2, Harald Heinecke2, Thomas Herzog3 und Paul Ziemann3 — 1Universität Ulm, Organische Chemie III, 89081 Ulm — 2Universität Ulm, Halbleiterphysik, 89081 Ulm — 3Universität Ulm, Festkörperphysik, 89081 Ulm
Dimensionsabhängige physikalische Eigenschaften verlangen Komplementär zu konventionellen lithographischen Methoden neue Verfahren, die auf einem größenkontrollierten Wachstum anorganischer Strukturen oder auf molekularen Konzepten der organischen und makromolekularen Chemie beruhen. Dünne Zweiblockcopolymerfilme bilden auf Substraten regelmäßige Mikrodomänen aus. Diese nanometergroßen Strukturen werden mit Hilfe bekannter Ätz- und Sputtertechniken in das unterliegende Substrat übertragen. Durch den selektiven Einbau anorganischer Komponenten (Au, TiO2) in Polymerdomänen wird ein Aspektverhältnis deutlich >1 angestrebt. Somit konnte in ein epitaktisch gewachsenes Schichtsystem aus GaAs/InGaAs Quantumdotstrukturen kleiner 10nm erzeugt werden. STM und photolumineszens Techniken wurden zur Charakterisierung angewandt. Die Maskentechnik erlaubt die simultane Erzeugung von 1012 Dots auf 1 mm2.