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SYB: Symposium Polymere und kleine Moleküle an Grenzflächen

SYB 4: Polymere und kleine Moleküle an festen Grenzflächen

SYB 4.17: Poster

Dienstag, 10. März 1998, 18:00–20:00, P1

Chemie und Morphologie von Chrom/Polyimid-Grenzflächen — •T. Strunskus, H. Kiesbye, M. Kiene und F. Faupel — Technische Fakultät der Christian-Albrechts-Universität Kiel, Kaiserstr. 2, 24143 Kiel

In dieser Arbeit wurde der Einfluß von Aufdampfrate, Bedeckungsgrad und Substrattemperatur auf die Chrom/Polyimid-Grenzflächenentstehung mit Hilfe von Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS), Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) und Röntgenabsorptions-Nahkantenfeinstruktur (NEXAFS) untersucht. Bei Raumtemperatur und niedrigen Chrombedeckungen kommt es zunächst nur zu einer Wechselwirkung von Chrom mit intaktem Polyimid. Bei höheren Chrombedeckungen oder durch Erhitzen kommt es zu einer Aufspaltung des Imidringes unter Bildung von iminartigen und nitridartigen Verbindungen. Das Ausmaß der Reaktion und die Verteilung der Reaktionsprodukte hängt hierbei stark von den Präparationsbedingungen, insbesondere Bedeckungsgrad und Substrattemperatur, ab. Eine Abhängigkeit von der Aufdampfrate konnte jedoch nicht beobachtet werden, was anzeigt, daß Chromatome nicht in den Polyimidfilm eindiffundieren können. Auch für Bedeckungen von einigen Monolagen wird noch keine geschlossene, homogene Chromschicht mit TEM beobachtet.