Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe
AKE: Arbeitskreis Energie der DPG
AKE 8: Postersitzung AKE
AKE 8.1: Poster
Dienstag, 24. März 1998, 12:00–13:00, H32
Untersuchung des spezifischen Kontaktwiderstandes auf p-AlGaAs und n-GaAs — •F. E-Chehrazi, G. Stollwerck und A. W. Bett — Fraunhofer Institut für Solare Energiesysteme, Oltmannsstr.5, 79100 Freiburg
Am Fraunhofer Institut für Solare Energiesysteme werden verschiedene Metallkombinationen als Kontakte auf p-AlGaAs und n-GaAs für Konzentratorsolarzellen untersucht. Die p-Kontakte befinden sich innerhalb einer AlGaAs-Schicht bei einem Al-Gehalt von etwa 40 %. An folgenden Metallkombinationen wurde der spezifische Kontaktwiderstand rc untersucht: Als p-Kontakt Titan/Nickel/Gold (Ti/Ni/Au), Titan/Paladium/Silber (Ti/Pd/Ag) und Chrom/Gold (Cr/Au). Die Schichtdicken für Ti, Ni, Pd und Cr liegen im Bereich von 5 nm bis 50 nm. Die Abdeckschichten aus Gold und Silber haben eine Dicke von je 100 nm. Als n-Kontakt wurde eine 150 nm dicke Gold/Germanium-Legierung mit 12 % Germanium untersucht. Alle Kontakte wurden in einem thermischen und einem optisch geheizten Ofen einlegiert. Die Einlegiertemperaturen liegen im Bereich von 350 ∘C bis 450 ∘C. Im optischen Ofen wurde ebenfalls der Einfluß der Aufheizrampen im Bereich von 70 ∘C/min bis 300 ∘C/min untersucht. Die Bestimung von rc erfolgt mittels des Transmissionline-Verfahrens. Mit allen genannten Metallkombinationen kann auf p-AlGaAs rc < 1−2 · 10−4 Ω· cm2 erzielt werden. Geplant ist die Untersuchung von Zink/Gold als p-Kontakt.