Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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AKE: Arbeitskreis Energie der DPG

AKE 8: Postersitzung AKE

AKE 8.2: Poster

Dienstag, 24. März 1998, 12:00–13:00, H32

Transporteigenschaften und Struktur von ZnO:Al-Schichten — •M. Poschenrieder, S. Brehme, K. Diesner, F. Fenske, C. Pettenkofer, B. Selle, I. Sieber und W. Fuhs — Hahn-Meitner-Institut, Abt. Photovoltaik, Rudower Chaussee 5, 12489 Berlin

ZnO:Al wird vielfach als Fenstermaterial für die Photovoltaik eingesetzt. Dennoch bleiben offene Fragen hinsichtlich der Streuprozesse, die für niedrige Mobilitäten verantwortlich sind. Es wurden ZnO:Al-Filme durch reaktives DC-Cosputtern aus zwei separaten Targets, einem Zn- und Al-Target, auf Si-Substraten abgeschieden, unter Variation der Leistung am Al-Target und des Sauerstoffflusses. In REM und XRD zeigen die Filme Säulenstruktur mit unterschiedlichem Kristallinitätsgrad. Die Ladungsträgerkonzentration und -mobilität wurden sowohl elektrisch (Halleffekt) als auch optisch (FTIR-Spektroskopie) bestimmt. Aus deren Vergleich läßt sich ableiten, daß Streuprozesse u.a. durch strukturelle Inhomogenitäten beim Al-Einbau bedingt sein können. Zur Klärung solcher Effekte wurden XPS-Untersuchungen durchgeführt. Wir diskutieren eine dotierungsbedingte Änderung der Struktur und der chemischen Bindungen, und deren Auswirkung auf die Trägermobilität.