Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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AKE: Arbeitskreis Energie der DPG

AKE 8: Postersitzung AKE

AKE 8.3: Poster

Dienstag, 24. März 1998, 12:00–13:00, H32

Optimierung siebgedruckter RTP-Siliziumsolarzellen — •P. Hahne, D. Huljic, F. E-Chehrazi, I. Reis und W. Wettling — Fraunhofer Institut für Solare Energiesysteme, Oltmannsstr.5, 79100 Freiburg

Am Fraunhofer ISE werden schnelle Herstellungsprozesse mit optischen Öfen (Rapid Thermal Processing) für siebgedruckte Siliziumsolarzellen untersucht. Kommerziell werden siebgedruckte Metallisierungen in Durchlauföfen unter Luftatmosphäre prozessiert. Diese haben den Nachteil, daß nur 3-5 Heizzonen mit entsprechen den Temperatureinstellungen bei konstanter Durchlaufgeschwindigkeit realisierbar sind. Bei RTP-Öfen kann sowohl die Temperatur als auch die Gasatmosphäre im Prozeß sehr variabel gestaltet werden. Die Wafertemperatur läßt sich im Gegensatz zu Durchlauföfen in situ messen und über die Lampenleistung nachregeln. Für verschiedene Metallisierungspasten wurden die RTP-Bedingungen hinsichtlich des spezifischen Widerstands, des Kontaktwiderstands des Metall-Silizium-Übergangs sowie der Solarzellenparameter optimiert. Die Ergebnisse werden in diesem Beitrag vorgestellt.