Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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AM: Magnetismus

AM 11: Postersitzung

AM 11.74: Poster

Dienstag, 24. März 1998, 16:15–20:00, B

Der Einfluß des Stickstoffgehaltes auf die magnetischen, elektrischen und strukturellen Eigenschaften reaktiv gesputterter FeAlN-Schichten — •R. Mattheis¹ und W. Maaß² — ¹Institut f. Physikalische Hochtechnologie e.V, Helmholtzweg 4, 07743 Jena — ²Balzers Process Systems GmbH, PF 1145, 63754 Alzenau

Weichmagnetische FeAlNx-Schichten mit hohem Sättigungsmoment werden sowohl für die Flußführung in zukünftigen Dünnschichtköpfen als auch für Flußkonzentratoren in magnetoresistiven Sensoren benötigt. Sie werden durch reaktives DC- oder HF-Sputtern in einem Ar/(0-20)at und enthalten bis zu 25 at Eigenschaften derartiger Schichten (magnetisches Moment pro Fe-Atom, Koerzitivität und Anisotropiefeldstärke), der spezifische Widerstand sowie die sich bildenden Kornstrukturen und Phasen werden in Abhängigkeit vom Sputterprozeß und Stickstoffgehalt diskutiert.